PEO系列除了有節(jié)省空間的優(yōu)點之外還有在待機的情況下周圍環(huán)境零能耗的特點。設(shè)備另一個獨特之處在于:使用方便更換的嵌套管即可實現(xiàn)同一臺設(shè)備上不同工藝的切換,且相互之間無交叉污染。為了達到具佳的溫度均勻性,ATV采用了14個Kanthal加熱元件,它們分別位于石英管的周圍,前端和后端,并且都由PID獨立控制。ATV豐富的經(jīng)驗和專業(yè)的工藝知識突出了我們為半導(dǎo)體和微電子行業(yè)提供性能具佳的設(shè)備和服務(wù)的理念。
我們的研發(fā)團隊和售后團隊致力于幫助我們的用戶從對ATV設(shè)備的投資中獲得良好的回報。ATV的目標是以超過40年在全球范圍內(nèi)得到驗證的技術(shù)理念為核心競爭力,使設(shè)備獲得具佳的工藝結(jié)果。

PE0-604 
設(shè)備技術(shù)參數(shù)

• 外形尺寸： 800 x 1900 x 1400mm (長x寬x高） [>重蛋： 475 Kg 
• 石英管直徑230mm(9")
• 標準產(chǎn)品溫度： 1,000°C/1, 100°
• 等溫區(qū)： 50片晶圓。
• 電源： 3Phases, 230/400V, 32/63A, 21/42 KW
• 一般應(yīng)用
• CVD, PVD, LPCVD, MOCVD [> Si3凡Poly Si 
•  Si Ep i taxy 
• TEOS,LTO 
• 碳納米管， 硅納米線， 石墨烯 
• 氣體／固體源擴散
• 濕法／干法氧化
• VCSEL氧化工藝
• Trans LC 
• SiAI/SiAu/SiMo合金化處理
• 退火：惰性氣體
• 聚酰亞胺， 固化/烘烤 
• LTCC燒結(jié)， 厚膜燒結(jié)